OLED 元器件是在潔凈棚內完成制造的，潔凈棚工程施工質量優(yōu)劣，決策著生產(chǎn)流水線良品率的多少，從而危害生產(chǎn)成本。

我企業(yè)修建了一個OLED 試驗線潔凈棚工程項目，文中將系統(tǒng)軟件簡介該潔凈棚工程項目管理的關鍵點。

1 項目概況

該新項目主棚生產(chǎn)制造棚域為雙層混凝土結構框架剪力墻及門式鋼架構造，混泥土平屋面選用軟性高分子材料防水卷材平屋面, 鋼架結構平屋面選用機械設備穩(wěn)定的防水卷材平屋面方法，一層層高4.8 m，二逐層高6.4 m，一層技術性下隔層與二層生產(chǎn)制造棚中間的混凝土樓板選用華夫板方法，運用華夫板上的開孔達到雙層中間的送風，華夫板上設定導電率架空地板，機器設備依據(jù)技術規(guī)定布局在架空地板或華夫板上。

2 設備合理布局

一層主要包含的作用棚間為技術性下隔層，送風夾道，沿下隔層棚域四周布局有過廳、脫鞋棚、一更、化工品供貨、特氣供應、廢水搜集、污水提高站、循環(huán)水系統(tǒng)站、純凈水打磨拋光間、真室內空間、配電站、原材料存儲間、制成品儲存間等。

二層是大進深的技術生產(chǎn)制造棚，布局生產(chǎn)設備。該層與技術性下隔層中間的構造混凝土樓板是有一定開孔率的華夫板，華夫板上邊安裝空架防靜電地板，以達到送風的規(guī)定；生產(chǎn)制造設備層的裝修吊頂安裝離心風機過濾器模塊（FFU），以達到生產(chǎn)制造層凈化處理規(guī)定。

二層關鍵凈化處理棚包含的棚域有 PVD/CVD、光刻技術間、掩膜清理、引入間、RTA、ELA、CVD、基材清理間、小塊激光切割、蒸鍍、片區(qū)、UV 硬底化、基材激光切割間、探頭、列陣檢驗間、緩沖間、有車庫、FMM庫、QA、送風夾道等，關鍵凈化處理棚周邊的其他作用棚間包含有空調棚、電氣設備棚、配電設備棚、檢修間、材料庫等。在關鍵凈化處理生產(chǎn)制造棚的兩邊設計方案送風、管路立井，產(chǎn)生凈化室內空氣的循環(huán)系統(tǒng)控制回路。而且在工程建筑的兩側各設計方案好幾部室內樓梯，產(chǎn)生各層對棚外的消防疏散安全通道為達到凈化處理生產(chǎn)制造的微振規(guī)定，二層的混凝土樓板――華夫板擬選用偏厚的破孔混凝土樓板構造，華夫表面刷環(huán)氧樹脂膠建筑涂料，為達到生產(chǎn)工藝流程的靈便布局并提升凈化處理總面積的運用高效率，生產(chǎn)制造工作人員經(jīng)主通道大廳進到脫鞋棚，再進到一次換衣，根據(jù)職工專用型室內樓梯進到二層二次換衣棚，再根據(jù)風淋室棚進到生產(chǎn)制造棚。

潔凈棚空調機組由 MAU（新風系統(tǒng)解決系統(tǒng)軟件） FFU  干風機盤管一同組成。生產(chǎn)制造棚裝修吊頂由風機過濾單元（FFU）與合金裝修吊頂架構構成，F(xiàn)FU 視各生產(chǎn)制造機器設備必須之級別均布，普及率隨生產(chǎn)工藝流程要求而定。新風系統(tǒng)由 MAU（新風解決系統(tǒng)軟件）集中化運輸后與棚里的循環(huán)系統(tǒng)風混和，經(jīng)FFU 充壓、過慮后送進生產(chǎn)制造棚。生產(chǎn)棚里機器設備、工作人員、照明燈具、排架結構等冷負載均由干風機盤管擔負。潔凈棚內環(huán)境濕度及正壓力操縱由 MAU 承擔。MAU 供排風量要求約 50000CMH×2 1 臺，潔凈棚循環(huán)系統(tǒng)排風量約773000 CMH。新風系統(tǒng)通道附屬不織布手工過濾網(wǎng)及庫板隔斷氣棚于新風系統(tǒng)制冷機組進口前，增加關鍵過濾網(wǎng)使用壽命。

在化工品庫、汽體間設定單獨的空調機組,新風系統(tǒng)經(jīng)加工處理后送進棚里，隨后根據(jù)通風系統(tǒng)全部排至棚外，氣體不循環(huán)系統(tǒng)應用。

加工工藝通風系統(tǒng)：在加工工藝生產(chǎn)過程中會造成含堿、堿、有機溶液、高熔點有機化學、有危害等有機廢氣。為維護生產(chǎn)制造員工的身心健康，降低對環(huán)境及廠棚周邊環(huán)境危害，各自制定了相對的部分通風系統(tǒng)、全棚排風系統(tǒng)及有機廢氣處理系統(tǒng)軟件。為清除加工工藝生產(chǎn)制造棚工藝技術等散發(fā)出的發(fā)熱量所制定的部分通風系統(tǒng)、全棚排風系統(tǒng)的排風不需解決可立即排向空氣。為清除加工工藝生產(chǎn)制造棚工藝技術釋放的含堿、堿、有機溶液、高熔點有機化學、有危害等有機廢氣的部分通風系統(tǒng)，排風系統(tǒng)須先經(jīng)過有機廢氣凈化塔等有機廢氣處理設備解決，做到國家環(huán)保標準后才可以排進空氣。加工工藝通風系統(tǒng)排煙風機排風量設置約 S T R 4 0 0 C M H × 1   1 臺；G E X - D18000CMH×1 1臺；EX-W & GEX-H 12300CMH×1臺，備用手機與 GEX-D同用；SEX 16 000CMH×1 1臺；ORG 4 000 CMH×1 1 臺，全部加工工藝排煙風機均帶變頻調速器。

防、排風系統(tǒng)：針對超過300 m2的地面上棚間、長短超過 40 m的疏散走道、長短超過20 m的內過道設定消消火栓系統(tǒng)。以相對高度為50 cm的擋煙垂壁區(qū)劃防排煙系統(tǒng)分棚，較大防排煙系統(tǒng)分棚的總面積為500 m2。排煙風機的風速為 72 000 m3/h（60 000×1.2 倍）。密閉式棚間設定機械設備排風系統(tǒng)時，與此同時安裝機械設備送風系統(tǒng)軟件，補排風量為排煙系統(tǒng)量的50%。消防救援窗以及前棚、消防電梯，前棚或共用前棚設定防排煙系統(tǒng)設備。

3 清潔級別規(guī)定

關鍵凈化處理棚 0.3 ìm、ISO 5.5，輔助棚域 0.3ìm、ISO 6. 5。其工藝流程環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)見表1 。

4 工程施工關鍵剖析

4.1 基本建設全過程務必遵循潔凈棚基本建設四項原則

（1）不帶到。

（2）不造成。

（3）不累積。

（4）迅速除去。

不帶到，便是不向潔凈棚領人一切塵土，務必保證下列標準：

（1）高效送風口與構造不造成塵土泄露。

（2）維持潔凈棚正壓力。

（3）工作人員經(jīng)換衣脫鞋、風淋室后才可進到潔凈棚。

（4）原材料與機器設備經(jīng)清理后才可進到潔凈棚。不造成，便是沒有在潔凈棚造成一切塵土，務必保證下列標準：

（1）工作人員需穿潔凈服。

（2）不應用非常容易造成塵土的原料與機器設備。

（3）不開展多余的挪動。

（4）不帶到無用具。不累積，便是沒有在潔凈棚累積一切塵土，必

須保證下列標準：

（1）不使機器設備角和四周清理艱難。

（2）潔凈棚盡可能不曝露風道和管路。

（3）遵循規(guī)范化凈化處理工作中程序流程。

迅速除去，便是迅速除去潔凈棚內塵土，必

須做好以下幾個方面：

（1）提升通氣率。

（2）在挨近造成塵土的地點設定氣水分離器。

（3）采用適合的氣流形式以防止灰塵粘在產(chǎn)品上。

4.2 根據(jù)以上標準，潔凈棚工程施工重點工作

搞好潔凈棚氣密性阻隔，將潔凈棚與外部徹底防護，保證外部污染物質不可以進到潔凈棚范疇，在宣布內裝排架結構沒完成前，先做臨時性防護設備。

創(chuàng)建三級清潔管控，保證工程施工各環(huán)節(jié)合乎相對應凈化處理管控規(guī)范。

架空地板開孔率測算及填料、盲板遍布。為確保華夫板送風勻稱，從送風夾道向另一側盲板的遍布率下降以均衡氣流，避免 短路故障。

保證內裝排架結構的氣密性試驗，潔凈棚外部墻面、現(xiàn)澆板務必維持嚴實，禁止外氣泄露進到潔凈棚。保證送風夾道的密閉式，包含干風機盤管墻的密閉式及送風夾道排架結構的密封性，以確保干風機盤管的橫斷面風力、排風量規(guī)定，與此同時避免 氣流短路故障，沒經(jīng)干風機盤管直接進入靜壓箱。

進到二級清潔管控環(huán)節(jié)，盡早在潔凈棚內創(chuàng)建正壓力，方式是運用新風機組為棚里給予新風系統(tǒng)，創(chuàng)建正壓力，在新風系統(tǒng)外界的新風系統(tǒng)吸進口增設無防布過慮新風系統(tǒng)，以增加新風系統(tǒng)內初、中效過濾器的使用期限。

潔凈棚工程施工結束后，通過調節(jié)、檢驗，潔凈棚各類信息均合乎設計方案指標值。

5 

根據(jù)對本新項目工程施工實踐活動的匯總，認證了新項目清潔管理方法關鍵的準確性，潔凈棚工程施工管理，要嚴謹遵循潔凈棚基本建設四項原則，可保證潔凈棚建設工程的取得成功。